公司簡介

本公司成立於2014年,專門從事CVD碳化矽鍍膜開發與製造,鍍膜之基底材料為陶瓷類耐高溫材料,例如:石墨/ 石英/ 藍寶石/ 單晶矽基板等等耐高溫陶瓷品。可做平面單面鍍膜或是雙面鍍膜,管狀之管內或管外單一鍍膜,或是選擇性區域鍍膜。

應用範圍

碳化矽鍍膜產品方向以耐化學侵蝕、耐磨耗、導熱、散熱為目標。

* 半導體製程中,化學蝕刻製成之防腐蝕之擋板,防製程腐蝕之承載盤,防腐蝕之支撐圓環。

* 壓鑄之模具製造,石墨加工造型當基材,鍍碳化矽膜成為模具。

* 電子光電元件,碳化矽鍍膜石墨散熱板

* 太陽能製程中,矽晶片類方板之碳化矽鍍膜作為濕製程之擋片